高分辨率臺式掃描電鏡的工作原理基于物理光學(xué)的成像原理。從電子槍中發(fā)射出的電子經(jīng)過一系列電磁透鏡被聚焦成極細(xì)的電子束,這個(gè)電子束在的電磁透鏡上方的雙偏轉(zhuǎn)線圈的驅(qū)動下,在樣品表面進(jìn)行柵網(wǎng)狀掃描。
當(dāng)電子束打在樣品上時(shí),會產(chǎn)生各種信號電子,包括二次電子、背散射電子、吸收電子、透過電子、特征X射線等。這些信號電子被相應(yīng)的探測器接收,并被轉(zhuǎn)換成電信號,然后通過電信號處理器進(jìn)行處理,形成圖像。
二次電子主要來自樣品表面5-10納米的區(qū)域,能量較低,通常用于反映樣品表面的形貌;背散射電子來自樣品較深處,能量較高,反映的是原子序數(shù)的信息,通常用于反映樣品的化學(xué)成分。
高分辨率臺式掃描電鏡的維護(hù)保養(yǎng)方法:
1.密封圈的清潔與潤滑
-定期清潔:每隔三個(gè)月使用無塵布蘸取少量酒精輕輕擦拭密封圈,直至無塵布上無黑色污漬為止。
-涂覆硅脂:清潔后,在密封圈上均勻涂覆一層薄薄的高真空硅脂,以保持其良好的密封性能。
2.燈絲的維護(hù)與更換
-觀察飽和程度:經(jīng)常觀察燈絲的飽和程度,當(dāng)發(fā)現(xiàn)燈絲電流不在飽和狀態(tài)時(shí),適當(dāng)手動調(diào)整燈絲電流,使燈絲處于飽和狀態(tài)。
-半自動調(diào)整:選擇半自動調(diào)整電子槍,避免全自動調(diào)整時(shí)燈絲電流過大,消耗燈絲,影響壽命。
3.環(huán)境條件的控制
-溫度與濕度:實(shí)驗(yàn)室環(huán)境溫度應(yīng)長期維持在20~24°C之間,濕度保持在50%以下。
-室內(nèi)清潔:保持室內(nèi)清潔衛(wèi)生,嚴(yán)禁在室內(nèi)喝水、飲食,以避免污染和損害設(shè)備。
4.日常檢查與維護(hù)
-檢查隔夜真空:每日開機(jī)時(shí),檢查系統(tǒng)的隔夜真空情況,隔夜真空值以保持在150Pa以內(nèi)為佳。
-樣品腔室密封:一旦隔夜真空值超過250Pa,需要立即檢查樣品腔室是否存在密封問題。
5.電子槍和鏡筒的維護(hù)
-防塵措施:在更換燈絲或清洗光闌時(shí),使用無塵布遮檔好鏡筒和電子槍敞口區(qū)域,防止粉塵落入。
-保持高真空度:隨時(shí)注意鏡筒是否存在微小泄露,并保證各級泵的性能,必要時(shí)更換泵油。
6.樣品的準(zhǔn)備
-樣品干燥:待觀察樣品應(yīng)盡量干燥、無揮發(fā)性物質(zhì),以避免影響鏡筒的真空度和腐蝕燈絲。